离子风喷枪

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2024-04-03 15:12:30
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辅光精密仪器(上海)有限公司

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产品简介

离子风喷枪是专业为半导体晶圆去除静电,灰尘,碎屑污染物设计的电离子喷枪

详细介绍

离子风喷枪是专业为半导体晶圆去除静电,灰尘,碎屑污染物设计的电离子喷枪。不仅适用于半导体,光学行业,也适用于医疗和电子行业。快速轻松地清除附着在硅片和掩膜等表面的灰尘。
离子风喷枪1.5毫米的空气出口和集中的快速气流有效去除微小灰尘颗粒。内部安全电路在检测到HV电路异常时切断HV电源。低压电缆(模块化)可轻松简化操作,连接笔和控制器。
离子风喷枪规格:
输入电压:DC24V(使用交流适配器:AC90V-AC264V 50/60 Hz)
输入电流:0.5A
气体压力:0.3 MPa(压力速度控制可调)
吹扫气体:空气或氮气
发射极材料:多晶硅
环境温度:10-40℃
环境湿度:35%相对湿度-65%(非冷凝)
重量:130克
控制器重量:750克
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