自动FOUP开盒机可对300毫米FOUP盒自动开门器解锁、移除并存储FOUP门。FOUP下方的旋转基座机构允许360°旋转，以将打开的FOUP盒定位在操作员的人体工程学进入位置。
自动FOUP开盒机通常安装在FOUP晶圆盒清洗站，用于拆卸和重新组装吊舱。为ISO 3级（FS209E 1级）设计；抗静电结构。
自动FOUP开盒机规格参数 | 适合晶圆尺寸 | 300mm |
| 供电要求 | 24VDC 3 Amps 120VAC to 24VDC Power Supply Sold seperately |
| 吞吐量 | 90 FOUPs/小时 |
| 重量 | 约为30kg |
