等离子体监控仪是等离子体清洗等应用所需的等离子体光谱仪器,满足生产线等离子体工艺的整体过程控制和质量保证。等离子体监控仪EMICON SA系统具有在一个系统中实时收集所有重要过程数据的组合。
等离子体监控仪特点
广泛的测量数据采集
等离子体发射模块与光纤光谱仪一起工作以高速连续采集从UV到NIR的等离子体光发射的光谱。这个HIPIMS/Pulse模块允许对MHz范围内的电压信号和层进行触发采样控制模块获取生长薄膜的反射光谱和/或透射光谱。此外，信号辅助传感器可以通过模拟电压输入输入。
实时监控等离子体过程参数
从所获取的发射数据中，可以选择任意数量的等离子体线，持续监控等离子体条件和成分。HIPIMS/Pulse模块提供电压以及来自脉冲切片的电流值，例如HIPIMS过程的峰值电流。这个层控制模块基于宽带光谱拟合来计算膜厚度，或者相对于标准颜色空间的颜色值。从模块获取的所有数据实时导出，并且可以作为时间的函数显示为所谓的监视器轨迹从而实时提供过程状态的全面画面。
等离子体监控仪典型应用：过程监控，玻璃，涂层，太阳能电池生产线
等离子体监控仪规格参数
工作类型：fieldbus 系统集成，实时过程监控
光谱传感器：200-1100nm
光谱通道：8个
光谱分辨率：1.5nm
动态范围：16bit
时间分辨率：1ms
采样时间：250us~分钟
数据存储：发射光谱，脉冲曲线,光谱层,信号传感器