自动晶圆传送机是自动把FOUP盒晶圆传送给FOSB盒的设备。mapped晶片在晶圆盒中缓慢地整体提升；限度地减少与晶圆框架盒的接触，消除颗粒、磨损或晶片边缘剥落的风险。
自动晶圆传送机坚固的结构确保了高可靠性、低维护,节省了宝贵的洁净室空间。
自动晶圆传送机抗静电结构专为ISO 3级设计。
自动晶圆传送机特点 触摸屏控制
FOUP给FOSB
映射功能检查是否存在交叉槽、双堆叠和晶片
PVDF涂层棒一次传送25个晶片
自动晶圆传送机规格参数 | 适合晶圆尺寸 | 300mm |
| 供电要求 | 24VDC 3 Amps 120VAC to 24VDC Power Supply Sold seperately |
| 吞吐量 | 60晶圆盒/小时 |
| 重量 | 约38kg |
