这款射频等离子体发生器是进口射频等离子体放大器,提供13.56MHz,120W的射频等离子体发射,非常适合工业,科研和医学应用。可提供射频等离子发射功率有300W, 600W,1000W,1200W, 2400W.
射频等离子体发生器规格参数
可与任何调谐器配合使用，但T&C的AIT-600调谐器系列（如左图所示）的操作是优化的
通过以下方式*控制发电机和AIT-600调谐器
前面板或PC（GUI软件）
接口：模拟/数字、RS-232、RS-422
数字显示：正向/反射/负载功率，
内部温度、调谐器盖位置
数据采集：功率测量和状态
模拟接口监控
操作：AGC功率均衡，低谐波
电平、脉冲操作、斜坡曲线
5.25英寸高x 8.75英寸宽x 15.00英寸长
射频等离子体发生器订购信息
订购代码：AG 0113 (前部面板控制)
                 0113 (带空白前面板的等离子体发生器模块）
                 AG 0113 & AIT-600 Tuner (万全的 RF 系统)
                 [Rear panel] RF Input / Blanking ports OR CEX In / Out ports
射频等离子体发生器规格参数
操作等级：C级
工作频率：13.56MHz
频率稳定性：0.005%或更好
RF功率输出：120W @50欧姆负载
EXT RF输入驱动：0-3 dBm 操作
输入驱动源用于外部RF输入：单个或函数发生器,2Vp-p @50欧姆@模拟计算机输入
CEX输入：3Vp-p ~8Vp-p  @13.56MHz
CEX输出：3Vp-p ~8Vp-p  @13.56MHz
内部RF源： 晶体震荡器@13.56MHz
输入输出阻抗：50Ohm
IN/OUT VSWR: 1.2: :1 max-input,   3:1 max-output
输出VDWER保护：50W反射功率保护极限（0.1ms 自动限制）
谐波水平@100W：>=-50dBc
RF输出稳定性： 10:1 VSWR
动态功率范围：1-120W
脉冲工作：脉宽1ms~9995ms