自动批量垂直晶片转移机AVT是自动双盒垂直散装晶圆转移机,可在塑料、金属和石英Cassettes晶圆盒的各种组合之间传送转移晶片。
垂直晶片转移机实现Cassettes晶圆盒移动而不是晶片移动，以实现更安全、更清洁的晶圆传输。
自动批量垂直晶片转移机AVT单按钮操作使工具易于使用,是一种高可靠性、低维护的系统。为ISO 3级（FS209E 1级）设计；抗静电结构。
晶片接触材料：抗静电聚丙烯和缩醛，这是高纯度材料，具有良好的耐磨性、良好的热性能和优异的耐化学性。
自动批量垂直晶片转移机AVT特点：
一次传送25个晶片。
30秒的循环时间。
升降梳由防静电缩醛材料制成。
固定梳由黑色缩醛制成。
自动批量垂直晶片转移机AVT规格参数 | 适合晶圆尺寸 | 76, 100, 150, 200mm |
| 供电要求 | 24VDC 3 Amps 120VAC to 24VDC Power Supply Sold separately |
| 吞吐量 | 60个晶圆盒/小时 |
| 重量 | 约20kg |
