压电纳米级精密定位台采用压电陶瓷驱动的扫描台，平台内部使用无回差柔性铰链并联导向结构，补偿量小，确保了平台的运动精度和超高的稳定性。平台内置精密位移传感器进行全闭环的位置反馈，定位精度、分辨率和稳定性可以达到纳米量级，定位稳定时间仅为毫秒量级。中空式超薄设计，且*通孔较大，可更好的集成于显微及扫描系统中。

压电纳米级精密定位台应用领域

◆表面结构分析；

◆自动对焦系统；

◆共焦显微镜；

◆扫描干涉仪；

主要特点

◆高于行业标准3倍速度：<4ms的阶跃稳定时间和100μm的闭环位移控制；600Hz的响应频率；20N/μm的刚度

◆装备双传感器技术：在不同的负载下无需重新校准；*的机械带宽；

◆的ZSY纳米传感器定位性能：0.1nm的定位噪音；0.01%的线性度；0.005%的剩余磁滞；

◆免工具安装适配器；

◆超级不胀钢结构设计获得*的聚焦稳定性；

技术数据：

表面处理:白色(W)/黑色(B) Surface treatment :[（W）White alumite /（B）Black alumite ］