品牌
生产厂家厂商性质
上海市所在地
二维压电平移台采用压电马达驱动和整体式结构设计,避免了传统伺服电机或步进电机因结构和驱动方式造成的回程误差。平台采用了光栅及专业的运动控制卡进行全闭环的位置反馈及运动控制,确保了该平台的运动特性及定位精度。
二维压电平移台主要应用
l 纳米刻蚀
l 超分辨显微镜
l 共聚焦显微镜
l 自适应光学
l 粒子追踪
产品特点:
1.直驱方式,无空回误差
2.可在断电状态下长时间保持在同一位置
3.全闭环光栅反馈,重复定位精度优于±0.5um(有0.5um和0.05um分辨率两个系列的标准品)
4.灵活的平台控制程序,可满足多种运动需求
选型表:
产品型号 | ESLP50-2 | ESLP100-2 | ESLP150-2 |
行程 | 50 | 100 | 150 |
zui大推力(N) | 16 | ||
zui大速度(mm/S) | 200 | ||
zui小步长(nm) | 50 | ||
光栅分辨率(um) | 0.5(1um和50nm)光栅可选 | ||
重复定位精度(um) | <±2um | ||
zui大负载(kg) | 3.5 | 4.5 | 5 |
结构材质 | 铝合金/不锈钢 |
上海纳动纳米位移技术有限公司(简称“纳动纳米”、“NanoMotions”),坐落于上海漕河泾新兴技术开发区,是一家专业集精密机械、精密驱动、精密传感、精密控制、精密测量、精密光学等各领域的技术于一体的*,专注于超精密纳米级定位及运动控制技术与产品的开发,并致力于创新开发压电微米定位、压电纳米定位、压电定位控制及测量等设备提供系统的技术解决方案,满足于国内外市场对超精密纳米级定位及运动控制技术需求的专业研发制造商。 上海纳动纳米位移技术有限公司本着“创新,立足,精益打造纳米定位与运动控制中国制造的品牌“的目标,力求*国内技术空白,打破国外对中国的技术壁垒和国外产品垄断中国市场的局面,为中国智能装备产业和科研领域提供*运动和测控解决方案提供关键技术和打造坚实基础。