高速高精度真空纳米定位平台采用了陶瓷伺服电机驱动，非常适合要求精度达到纳米或压纳米的高精度和高重复精度的应用，例如：精密生命科学仪器、显微成像、纳米准直、微纳加工、光学精确定位等。

高速高精度真空纳米定位平台应用

光电对准
光电封装
纳米加工
光学测量
纳米自动化

特色 
10nm分辨率非接触线性编码系统
双驱动任选:线性伺服或压电驱动
高密度滚珠传导增加稳定性
超紧凑的单轴或双轴纳米位移台
紧凑型封装
可真空使用
*工作能力，大吞吐量

技术参数
行程(mm):     25和50mm(单轴或双轴)
驱动系统:     无铁芯直线电机或陶瓷伺服电机
大加速度:   由负载决定
大速度:     200mm/s (无负载时)
大推力:     24N
大负载:     2Kg
精度:         +/-1um/25mm
TTL分辨率:   1-100nm/脉冲
构造材料:     铝合金主体, 灰色氧化镀膜
重复精度: 5倍精度
 

上海纳动纳米位移技术有限公司（简称“纳动纳米”、“NanoMotions”），坐落于上海漕河泾新兴技术开发区，是一家专业集精密机械、精密驱动、精密传感、精密控制、精密测量、精密光学等各领域的技术于一体的*，专注于超精密纳米级定位及运动控制技术与产品的开发，并致力于创新开发压电微米定位、压电纳米定位、压电定位控制及测量等设备提供系统的技术解决方案，满足于国内外市场对超精密纳米级定位及运动控制技术需求的专业研发制造商。

上海纳动纳米位移技术有限贵公司自主研发的产品涵盖压电陶瓷元件、叠堆压电陶瓷、封装型压电陶瓷/促动器、纳米级精密定位台/扫描台、压电纳米定位平移台/升降台/偏摆台/旋转台、纳米级光束偏转镜、纳米级显微扫描平台、纳米级物镜聚焦/扫描器、纳米级红外微扫描器、压电微操作钳、压电微分头、压电马达/电机、压电螺旋促动器、压电点胶阀、压电机床微进给平台、六轴并联微位移定位系统、高精度位移传感器、压电陶瓷驱动/控制器、高精度微位移测量系统等系列产品。