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1~3维压电平台/平移台具有非常快速和紧凑的倾斜装置,它提供一个范围2.5 mrad倾斜角度及亚毫秒的响应时间。可配备配有一个15 x 4光学镜片。
1~3维压电平台/平移台产品特性
1.采用高性能的压电陶瓷驱动;
2.具有开环和闭环两种规格型号;
??3.采用数控、线切割等加工工艺,严格保证构结精度;
4.采用计算机有限元仿真分析等现代设计方法设计微动结构;
5.采用*的表面处理工艺,提高了适应不同工作环境的能力。
技术参数:
轴向: 3
行程: 9-400 μm
分辨率: 0.02-0.8 nm
共振频率: 140-2200Hz
推力: 9-1800N
拉力: 1-180N
应用实例:
AFM显微镜,激光校准,低温操作应用,微型加工技术,半导体,扫描应用
上海纳动纳米位移技术有限公司(简称“纳动纳米”、“NanoMotions”),坐落于上海漕河泾新兴技术开发区,是一家专业集精密机械、精密驱动、精密传感、精密控制、精密测量、精密光学等各领域的技术于一体的*,专注于超精密纳米级定位及运动控制技术与产品的开发,并致力于创新开发压电微米定位、压电纳米定位、压电定位控制及测量等设备提供系统的技术解决方案,满足于国内外市场对超精密纳米级定位及运动控制技术需求的专业研发制造商。
上海纳动纳米位移技术有限贵公司自主研发的产品涵盖压电陶瓷元件、叠堆压电陶瓷、封装型压电陶瓷/促动器、纳米级精密定位台/扫描台、压电纳米定位平移台/升降台/偏摆台/旋转台、纳米级光束偏转镜、纳米级显微扫描平台、纳米级物镜聚焦/扫描器、纳米级红外微扫描器、压电微操作钳、压电微分头、压电马达/电机、压电螺旋促动器、压电点胶阀、压电机床微进给平台、六轴并联微位移定位系统、高精度位移传感器、压电陶瓷驱动/控制器、高精度微位移测量系统等系列产品。