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纳米定位压电柔性铰链平台将亚纳米级分辨率和导向精度以zui小串扰相结合。这使得其特别适用于计量学中的应用、超高分辨率显微镜、干涉测量或半导体芯片生产的检测系统。压电陶瓷柔性铰链平台可用于毫秒稳定精密定位和动态扫描，频率高达几百赫兹，多达六自由度。
光纤对准
显微镜应用
双光子聚合
纳米技术和纳米制造
特点：
并联运动设计可在所有空间方向上实现zui高刚性
即使负载高达100克，高谐振频率也能实现高动态运动
单个安装平台的创新型产品设计可实现灵活使用
市场上*的带ID芯片功能的纳米定位器
市场上行程为100微米的zui小、zui轻的NanoCube
技术参数：
| 运动和定位 |
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主动轴 | X、Y、Z |
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开环行程，-20至120伏 | 110/轴 | 微米 | +20 % / -0 % |
闭环行程 | 100/轴 | 微米 | +20 % / -0 % |
分辨率，1秒，开环* | 0.3 | 纳米 | 典型值 |
分辨率，1秒，闭环* | 0.4 | 纳米 | 典型值 |
线性误差，全行程范围内，带数字控制器(E-727.3CD) | 0.03 | % | 典型值 |
双向重复精度，1秒，10%行程范围内 | <10 | 纳米 | 典型值 |
双向重复精度，1秒，行程范围内 | <15 | 纳米 | 典型值 |
