纳米定位压电柔性铰链平台 光学表面分析仪

PKVL150-080U-S纳米定位压电柔性铰链平台 光学表面分析仪

参考价: 面议

具体成交价以合同协议为准
2022-10-03 09:31:37
419
属性:
产地:国产;加工定制:是;适用行业:其他;
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上海纳动纳米位移技术有限公司

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产品简介

纳米定位压电柔性铰链平台将亚纳米级分辨率和导向精度以zui小串扰相结合。这使得其特别适用于计量学中的应用、超高分辨率显微镜、干涉测量或半导体芯片生产的检测系统。压电陶瓷柔性铰链平台可用于毫秒稳定精密定位和动态扫描,频率高达几百赫兹,多达六自由度。

详细介绍

    纳米定位压电柔性铰链平台将亚纳米级分辨率和导向精度以zui小串扰相结合。这使得其特别适用于计量学中的应用、超高分辨率显微镜、干涉测量或半导体芯片生产的检测系统。压电陶瓷柔性铰链平台可用于毫秒稳定精密定位和动态扫描,频率高达几百赫兹,多达六自由度。

纳米定位压电柔性铰链平台应用领域

光纤对准

显微镜应用

双光子聚合

纳米技术和纳米制造

特点:

 并联运动设计可在所有空间方向上实现zui高刚性
即使负载高达100克,高谐振频率也能实现高动态运动
单个安装平台的创新型产品设计可实现灵活使用
市场上*的带ID芯片功能的纳米定位器
市场上行程为100微米的zui小、zui轻的NanoCube

技术参数:

运动和定位

 

 

 

主动轴

X、Y、Z

 

 

开环行程,-20至120伏

110/轴

微米

+20 % / -0 %

闭环行程

100/轴

微米

+20 % / -0 %

分辨率,1秒,开环*

0.3

纳米

典型值

分辨率,1秒,闭环*

0.4

纳米

典型值

线性误差,全行程范围内,带数字控制器(E-727.3CD)

0.03

%

典型值

双向重复精度,1秒,10%行程范围内

<10

纳米

典型值

双向重复精度,1秒,行程范围内

<15

纳米

典型值

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