X轴压电平移台行程80m初的设计是为了满足超快速度和超精密的应用。纳米定位工作台采用压电陶瓷直推驱动，以柔性铰链为运动副，使其结构紧凑、拥有小的体积、无摩擦、无间隙、定位分辨率高等优点。

u  X轴压电平移台行程80m主要特点

• 亚纳米的分辨率
• 高的带宽
• 高速响应
• 高的可靠性
• 结构紧凑
• 压电陶瓷驱动
• 柔性铰链设计
• 电容位移传感器闭环反馈

u 主要应用
l  纳米刻蚀
l  干涉测量
l  高速聚焦
l  自适应光学
l  超分辨显微镜
l  粒子追踪

选型：

上海纳动纳米位移技术有限公司（简称“纳动纳米”、“NanoMotions”），坐落于上海漕河泾新兴技术开发区，是一家专业集精密机械、精密驱动、精密传感、精密控制、精密测量、精密光学等各领域的技术于一体的*，专注于超精密纳米级定位及运动控制技术与产品的开发，并致力于创新开发压电微米定位、压电纳米定位、压电定位控制及测量等设备提供系统的技术解决方案，满足于国内外市场对超精密纳米级定位及运动控制技术需求的专业研发制造商。        上海纳动纳米位移技术有限公司本着“创新，立足，精益打造纳米定位与运动控制中国制造的品牌“的目标，力求*国内技术空白，打破国外对中国的技术壁垒和国外产品垄断中国市场的局面，为中国智能装备产业和科研领域提供*运动和测控解决方案提供关键技术和打造坚实基础。