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超精密压电纳米定位台是一种机械装置,内部有一个或多个压电陶瓷,由压电陶瓷产生单轴或者多轴的运动。三英设计和制造的纳米位移台使用柔性铰链将技术将运动装置连接到固定基座上。纳米位移台内置高精密传感器,闭环控制时,三英的传感器技术在保证线性度的前提下,可以实现纳米级别、亚纳米级别的分辨率。
超精密压电纳米定位台应用领域
◆显微镜;
◆波束控制;
◆自定义闭环系统;
特点:
从1轴到6轴运动
业界的并联运动和并联测量技术
保持记录的高精度与重复精度
可选电容传感器zui高可达0.02nm闭环分辨率
定制型号可选择铟钢、钛等不同材料
技术参数:
型号 | NS-XY100Z20-01 | |
运动轴 | X/Y/Z | |
传感器类型 | 电容式 | |
闭环行程 | 100/100/20μm | |
闭环分辨率 | 0.5/0.5/0.1nm | |
线性度 | 0.02/0.02/0.08% | |
无载谐振频率 | 350/350/1600Hz | |
驱动电压 | -30~+150V | |
电缆长度 | 2m | |
连接器类型 | D-sub15 | |
位移台材料 | 铝合金 | |
zui大负载 | 1kg | |
体积 | 100 x 100 x 35mm |
上海纳动纳米位移技术有限公司(简称“纳动纳米”、“NanoMotions”),坐落于上海漕河泾新兴技术开发区,是一家专业集精密机械、精密驱动、精密传感、精密控制、精密测量、精密光学等各领域的技术于一体的*,专注于超精密纳米级定位及运动控制技术与产品的开发,并致力于创新开发压电微米定位、压电纳米定位、压电定位控制及测量等设备提供系统的技术解决方案,满足于国内外市场对超精密纳米级定位及运动控制技术需求的专业研发制造商。 上海纳动纳米位移技术有限公司本着“创新,立足,精益打造纳米定位与运动控制中国制造的品牌“的目标,力求*国内技术空白,打破国外对中国的技术壁垒和国外产品垄断中国市场的局面,为中国智能装备产业和科研领域提供*运动和测控解决方案提供关键技术和打造坚实基础。