品牌
生产厂家厂商性质
上海所在地
专用气体输送系统,提供气体分配均匀性和灵活的气体分配方法
不同工艺模式(RIE、下游等离子体等)的柔性电极配置
的射频系统提供的工艺重复性和处理效率
全自动处理能力
图形用户界面支持配方编辑器、配方驱动流程并提供实时流程信息
台式设计需要较小的占地面积
典型应用
表面活化
提高表面能量以提高材料粘合性:预压模粘合;预焊线粘合
增强表面胶体流动性:预成型;预倒装芯片下溢
表面粗糙度和蚀刻
降低表面应力,改善表面粘结性
灰化和表面清洁
Plasma等离子蚀刻(配备RIE配置)
电介质/III-IV材料
纳米涂层(配备液体前体输送装置)
耐水纳米涂层:印刷电路板表面处理
防腐纳米涂层:科研,医疗植入物