• 13.56MHz射频电源与自动匹配系统，具有优异的稳定性与可重复性

• 灵活的电极结构设置与优化的气体馈入、分布方案，确保大批量处理的均匀性

• PLC与工控机提供稳定的过程控制，设备运行的实时参数通过显示屏直观呈现

• 系统稳定可靠，易于保养与维护

标准腔体电极为平行板电极结构，通过改变电极配置(RF电极、地电极、悬浮电极等)可以获得不同的工艺效果

最多支持扩展至8片电极

每对电极间为独立空间

批处理电极改变了标准的平行板电极结构

通过优化的电场和进气设计实现对magazi和boat等载具内产品的均匀处理。

• 表面清洁与活化

• 表面有机污染物与金属氧化物的去除

• 增强表面胶体流动性，消除涂层分层

• 提升表面能，实现难粘材料的有效结合

• 表面粗化及微刻蚀

• 纳米级表面粗化，应力释放

• 光刻胶、残胶的去除

• 对多种材料的选择性刻蚀