超精密X/XY中空型纳米位移台 内置高性能压电陶瓷作为驱动元件，采用SGS传感器闭环，实现精密高速定位运动，产品结构紧凑，易于集成，采用分离式结构设计，减小了两自由度之间的耦合，采用高可靠性的压电陶瓷驱动，具有较高的重复定位精度和纳米级位移分辨率，机体材料分铝合金，严格保证构结精度;采用计算机有限元仿真分析等现代设计方法设计微动结构； 采用*的表面处理工艺，提高了适应不同工作环境的能力。平台安装和固定通过顶部与底部进行操作。底部四个M4通孔用于固定的平台本体，对于产品在静态或动态应用是非常重要的。在顶部板上安装有四个M3螺纹孔，用于安装（负载）外部元件使用。 

超精密X/XY中空型纳米位移台产品特点与技术优势：
 
>当步进到制定位置后，施加在压电陶瓷上的电压变为0V，因此不存在由于外加电信号而产生噪音或飘逸问题；
>驱动定位器所需要的电压一般较低（60V或150V），因此不需要进行高压屏蔽，很多低压中使用的电缆和接口都可以在这里使用；
>Attocube定位器可以同时作为粗逼近装置和精细扫描头使用，因此*的提高了设备的稳定性和结构的紧凑性。
     

工作环境：
> 工作环境 (极低温；高磁场；超高真空)。
> 闭循环操作，可跟位置敏感器连用，形成闭循环位置控制； > 大的行程： 厘米级，大为20cm；
> 极紧凑的结构设计： Ø11X11mm的定位器可提供几个毫米的行程；
> 负载能力： 超高自身重量的许多倍，大负载为300g；
> 操作模式： 单一定位器可实现粗逼近与精细扫描两种操作；
> 可靠性： 可重复步进数十亿次；
> 纳米精度的补偿，*的稳定性（低的驱动电压；无机械性漂移；不存在齿间隙；SPM扫描中可以达到原子级分辨；）
 

参数说明