小型单轴压电驱动器是为压电扫描定位设计的压电促动器,广泛用于扫描探针显微镜压电驱动原子力显微镜压电驱动和微纳操作,非常在开放和闭环系统中的光学元件压电驱动和扫描探针压电驱动应用。

小型单轴压电驱动器应用
扫描探针显微镜
原子力显微镜
纳米定位
计量学应用
生物学研究
电子学应用
 

特点
双电容传感器反馈技术
低频噪声电阻
补偿压电陶瓷的蠕变效应
水平方向上扫描位移行程120µM
超高分辨率，为0.1nm
低成本
设计紧凑，重量轻，刚度高
是显微镜应用的理想单轴压电驱动器,Piezo Actuator
通用性强
 

产品规格
 运动特性
   主动轴       Z
    Z轴运动距离, µm        120
   分辨率（闭环）nm               1
   分辨率（开环）,nm             0.1
 整范围内的角度倾斜，°             ＜0.01
 大扫描速度， Hz        10
 控制性能
 电容量，PF                            20
机械性能
    谐振频率的Z， kHz        3
    负载容量, g        100
     操作温度范围，°C        - 40…80
    尺寸，mm        30 x 30 x 22
     材料                        铝