XYZ三维压电扫描台是为压电扫描定位设计的三维压电扫描台和XYZ电扫描台,广泛用于扫描探针显微镜压电扫描,原子力显微镜压电扫描和微纳操作,非常在开放和闭环系统中的光学元件压电扫描定位和扫描探针压电扫描应用。

XYZ三维压电扫描台批发价格主要特点

• 亚纳米级的分辨率
• 高的带宽
• 高速响应
• 高的可靠性
• 结构紧凑
• 压电陶瓷驱动
• 柔性铰链设计
• 安装简单和简单的图像校准
• 电容位移传感器闭环反馈
• 迟滞/线性误差<0.005%

XYZ三维压电扫描台批发价格应用
扫描探针显微镜
原子力显微镜
纳米定位
计量学应用
生物学研究
电子学应用
微操作

规格
 运动特性
   主动轴        XY(Z)
   XY运动范围, µm        200 x 200
    Z轴运动距离, µm        20
   分辨率（闭环）nm               1
   分辨率（开环）,nm             0.1
    整范围内的角度倾斜，°      ＜0.01
   大扫描速度， Hz        10
 控制性能
      XY轴电容量, pF           30
      Z轴电容量, pF               35
机械性能
    谐振频率Z轴， kHz        30
    谐振频率 XY, kHz        1
    负载容量, g        100
     操作温度范围，°C        - 40…80
    尺寸，mm            100 x 100 x 33 mm
     材料                        铝