高精度电容测微仪传感器是利用电容原理测量工件尺寸微小变化的仪器。应用学科：机械工程（一级学科），量具与量仪（二级学科），量仪（三级学科）

高精度电容测微仪传感器应用

1、旋转轴的径向跳动，轴向窜动和回转精度；

2、往复机构的运动特性和重复定位精度；

3、正弦波激振和脉激振中振动测量；

4、机器零部件相对振动相对变形；

5、盘类零件的端面振摆；

6、轴承.活塞间隙和油膜厚度；

7、检测零部件尺寸和平直度；

8、线切割机床电极丝的振动；

9、机床主轴热位移与动态加载试验测量；

10、检测金属板、带的厚度

11、也可用于金属导体之外的绝缘物体（如大理石、塑料、砂轮、玻璃、陶瓷等）的振动、位移测量

 特点：
①结构简单；
②动作时需要能量低，由于带电极板间静电吸引力很小，因此电容传感器特别适宜用来解决输入能量低的测量问题；
③动态特性好，电容传感器的相对变化量只受线性和其它实际条件的限制，如果使用高线性电路时，电容变化量可达或更大；
④自然效应小；
⑤动态响应快以及能在恶劣的环境下工作。但由于电容传感器的初始电容较小，受引线电容、寄生电容的干扰影响较大；另一方面电容传感器输出特性为非线性。 

主要性能指标

  1、直接显示被测静态位移值和振动位移幅值

2、量程/分辨率:±3.000μm/0.001μm、±30.00μm/0.01μm、±300.0μm/0.1μm

3、测量频率范围：0—10KHZ

4、线性度：0.5%FSO

5、输出信号：0—±5.100V   0—20mA

6、噪声: < 3mV

6、漂移：0.1%FSO/h

7、工作温度：放大器－10℃－+80℃  传感器探头－20℃－+200℃

8、电源：~220V50Hz

9、体积：258mm×300mm×102mm

10、量程、初始间隙δ0与传感器电极直径d0   表1