纳米定位扫描平台采用单片金属体铝合金制成,采用了EDM电线腐蚀和其他精密机械手段构建,纳米扫描台该种设计使得运动有着近*的直线度和平面度，与使用压电陶瓷管的纳米扫描台相比,它具有高机械强度并可球面纳米扫描。
纳米定位扫描平台技术参数：
| 产品型号 | PK2L135-005U | PK2L135-005U-S | 公差 | | 运动自由度 | X、Y | X、Y | - | | 传感器类型 | - | Strain Gage | - | | 标称行程范围（@0~+120V） | 5 μm/轴 | 5 μm/轴 | ±20% | | 行程范围（@-20~+150V） | 8 μm/轴 | 8 μm/轴 | ±20% | | 分辨率 | 0.2 nm | 0.5 nm | typ. | | 重复定位精度 | - | 0.05% F.S. | typ. | | 线性度 | - | 0.1% F.S. | typ. | | 承载能力 | 30 N | 30 N | Max. | | 刚度 | 0.5 N/μm | 0.5 N/μm | ±20% | | 谐振频率 | 0g | （X）330 Hz、（Y）330 Hz | （X）330 Hz、（Y）330 Hz | ±20% | | 静电容量 | 0.6 μF/轴 | 0.6 μF/轴 | ±20% | | 工作温度范围 | -10~+70 ℃ | -10~+70 ℃ | - | | 驱动电压范围（*）1 | 0~+120 V | 0~+120 V | typ. | | 线缆长度 | 1.5 m/轴 | 1.5 m/轴 | ±10mm | | 外形尺寸(LxH) | 138×138×17 mm | 138×138×17 mm | - | | 重量 | 500 g | 500 g | ±5% | | 本体材质2 | 铝（B） | 铝（B） | - | |
主要特点
- 亚纳米的分辨率
- 高的带宽
- 高速响应
- 高的可靠性
- 压电陶瓷驱动
- 柔性铰链设计
- 电容位移传感器闭环反馈
- 双传感器设计
产品应用：
显微扫描、跟踪 • 三维成像 • 高分辨率显微镜 • 共聚焦显微镜 • 生物技术 • 纳米定位 • 干涉 • 计量
