FTS超精密加工压电定位平台采用了无空行程的金属弹性变形机构，以及5-6 倍的压电陶瓷变形放大机构。并采用我公司的超精密加工技术进行生产制造。

FTS超精密加工压电定位平台特点：

?采用了*的数字位移传感器，可实现高精度·高刚性·高速度的压电陶瓷平台。
?采用压电陶瓷作为驱动机构，环控制时的行程为90μm?100μm，理论分辨率达1nm。和开环控制相比，闭环控制时的大行程会少20%左右。
?位置检测采用了数字位移传感器（频率→数字变换方式的微小位移传感器），闭环控制时的显示分辨率为10nm。
?使用FINE系列控制器，可实现高速定位。
?重复驱动SFS-H（直动）系列平台，可达10?15Hz的频率。使用FINE-01γ的 模拟信号驱动时，可达25Hz。

应用：

光纤端面检测 聚焦显微成像电化学加工3D锡膏检测 精密定位 精密加工光纤对接

指标

上海纳动纳米位移技术有限公司（简称“纳动纳米”、“NanoMotions”），坐落于上海漕河泾新兴技术开发区，是一家专业集精密机械、精密驱动、精密传感、精密控制、精密测量、精密光学等各领域的技术于一体的*，专注于超精密纳米级定位及运动控制技术与产品的开发，并致力于创新开发压电微米定位、压电纳米定位、压电定位控制及测量等设备提供系统的技术解决方案，满足于国内外市场对超精密纳米级定位及运动控制技术需求的专业研发制造商。

上海纳动纳米位移技术有限贵公司自主研发的产品涵盖压电陶瓷元件、叠堆压电陶瓷、封装型压电陶瓷/促动器、纳米级精密定位台/扫描台、压电纳米定位平移台/升降台/偏摆台/旋转台、纳米级光束偏转镜、纳米级显微扫描平台、纳米级物镜聚焦/扫描器、纳米级红外微扫描器、压电微操作钳、压电微分头、压电马达/电机、压电螺旋促动器、压电点胶阀、压电机床微进给平台、六轴并联微位移定位系统、高精度位移传感器、压电陶瓷驱动/控制器、高精度微位移测量系统等系列产品。