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伯东美国 KRI 考夫曼离子源 KDC 100 技术参数:
离子源型号 | 离子源 KDC 100 |
Discharge | DC 热离子 |
离子束流 | >400 mA |
离子动能 | 100-1200 V |
栅极直径 | 12 cm Φ |
离子束 | 聚焦, 平行, 散射 |
流量 | 2-20 sccm |
通气 | Ar, Kr, Xe, O2, N2, H2, 其他 |
典型压力 | < 0.5m Torr |
长度 | 23.5 cm |
直径 | 19.4 cm |
中和器 | 灯丝 |
* 可选: 可调角度的支架