美国 KRI 霍尔离子源 eH 1000

美国 KRI 霍尔离子源 eH 1000

参考价: 面议

具体成交价以合同协议为准
2022-04-29 10:55:33
143
产品属性
关闭
伯东企业（上海）有限公司

伯东企业（上海）有限公司

免费会员
收藏

组合推荐相似产品

产品简介

上海伯东代理美国考夫曼博士设立的考夫曼公司 KRI 霍尔离子源 eH 1000 高效气体利用, 低成本设计提供高离子电流, 特别适合中型真空系统. 属于无栅网离子源. 通常应用于离子辅助镀膜, 预清洗和低能量离子蚀刻.尺寸: 直径= 5.7 高= 5.5放电电压 / 电流: 50-300V / 10A操作气体: Ar, Xe, Kr, O2, N2, 有机前体

详细介绍

美国 KRI 霍尔离子源 eH 1000 产品特性：

伯东 KRI 霍尔离子源 eH 1000 特性:

1.可拆卸阳极组件 - 易于维护; 维护时, 限度地减少停机时间; 即插即用备用阳极

2.宽波束高放电电流 - 高电流密度; 均匀的蚀刻率; 刻蚀效率高; 高离子辅助镀膜 IAD 效率

3.多用途 - 适用于 Load lock / 超高真空系统; 安装方便; 无需水冷

4.高效的等离子转换和稳定的功率控制

上一篇：小型等离子清洗机具有*优点 下一篇：KRI 考夫曼射频离子源 用于制备超薄 TEM 样品
热线电话 在线询价
提示

仪表网采购电话