美国 KRI 射频离子源 RFICP 140

美国 KRI 射频离子源 RFICP 140

参考价: 面议

具体成交价以合同协议为准
2022-04-27 12:50:54
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伯东企业（上海）有限公司

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产品简介

上海伯东代理美国考夫曼博士设立的考夫曼公司 KRI 射频离子源 RFICP 140 是一款紧凑的有栅网离子源, 离子束可选聚焦, 平行, 散射.离子束流: 600 mA; 离子动能: 100-1200 V; 中和器: LFN 2000. 采用射频技术产生离子, 无需电离灯丝, 工艺时间更长, 更适合时间长的工艺要求. 提供高密度离子束, 满足高工艺需求.离子源采用模块化设计......

详细介绍

美国 KRI 射频离子源 RFICP 140 技术参数：

伯东 KRI 射频离子源 RFICP 140 技术参数:

型号

RFICP 140

Discharge

RFICP 射频

离子束流

>600 mA

离子动能

100-1200 V

栅极直径

14 cm Φ

离子束

聚焦, 平行, 散射

流量

5-30 sccm

通气

Ar, Kr, Xe, O2, N2, H2, 其他

典型压力

< 0.5m Torr

长度

24.6 cm

直径

24.6 cm

中和器

LFN 2000

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