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伯东美国 KRI 考夫曼离子源 KDC 技术参数:
离子源型号 | 离子源 KDC 40 |
Discharge | DC 热离子 |
离子束流 | >100 mA |
离子动能 | 100-1200 V |
栅极直径 | 4 cm Φ |
离子束 | 聚焦, 平行, 散射 |
流量 | 2-10 sccm |
通气 | Ar, Kr, Xe, O2, N2, H2, 其他 |
典型压力 | < 0.5m Torr |
长度 | 17.1 cm |
直径 | 9 cm |
中和器 | 灯丝 |