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伯东 KRI 射频离子源 RFICP 100 技术参数:
| 型号 | RFICP 100 |
| Discharge | RFICP 射频 |
| 离子束流 | >350 mA |
| 离子动能 | 100-1200 V |
| 栅极直径 | 10 cm Φ |
| 离子束 | 聚焦, 平行, 散射 |
| 流量 | 5-30 sccm |
| 通气 | Ar, Kr, Xe, O2, N2, H2, 其他 |
| 典型压力 | < 0.5m Torr |
| 长度 | 23.5 cm |
| 直径 | 19.1 cm |
| 中和器 | LFN 2000 |
* 可选: 灯丝中和器; 可变长度的增量
