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面议美国 KRI 射频离子源 RFICP 系列
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KRI 霍尔离子源 Gridless eH 系列产品特性:
1.无栅极
2.高电流低能量
3.发散光束 >45°
4.可快速更换阳极模块
5.可选 Cathode / Neutralize 中和器