美国 KRI 射频离子源 RFICP 40

美国 KRI 射频离子源 RFICP 40

参考价: 面议

具体成交价以合同协议为准
2022-04-27 12:54:11
135
产品属性
关闭
伯东企业（上海）有限公司

伯东企业（上海）有限公司

免费会员
收藏

组合推荐相似产品

产品简介

上海伯东代理美国考夫曼博士设立的考夫曼公司 KRI 射频离子源 RFICP 40, 离子束可选聚焦/ 平行/ 散射.KRI 射频离子源 RFICP 40 属于大面积射频离子源, 离子束流: 100 mA; 离子动能: 100-1200 V; 中和器: LFN 2000; 流量 (Typical flow): 3-10 sccm.采用射频技术产生离子, 无需电离灯丝, 工艺时间更长.......

详细介绍

美国 KRI 射频离子源 RFICP 40 产品特性：

伯东 KRI 射频离子源 RFICP 40 特性:

1. 离子源放电腔 Discharge Chamber, 无需电离灯丝, 通过射频技术提供高密度离子, 工艺时间更长.

2. 离子源结构模块化设计, 使用更简单; 基座可调节, 有效优化蚀刻率和均匀性.

3. 提供聚焦, 发散, 平行的离子束

4. 离子源自动调节技术保障栅极的使用寿命和可重复的工艺运行

5. 栅极材质钼和石墨,坚固耐用

6. 离子源中和器 Neutralizer, 测量和控制电子发射,确保电荷中性

上一篇：KRI 考夫曼射频离子源 用于制备超薄 TEM 样品 下一篇：伯东 KRI 考夫曼霍尔离子源清洗 PPS/ PEEK 衬底面
热线电话 在线询价
提示

仪表网采购电话