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离子研磨仪 IM4000II
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超高分辨肖特基场发射扫描电子显微镜SU8700
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多功能扫描探针显微镜AFM100 Plus /AFM100 系统
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超高分辨场发射扫描电子显微镜 SU8600系列
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光化学反应量热仪选配项 紫外线照射装置 PDC-7/PDC-7X 液体流量计
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纳米尺度3D光学干涉测量系统 VS1800
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超高分辨肖特基场发射扫描电镜 SU7000
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基于设计数据的计量系统
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高解析度FEB测量装置CS4800（CD-SEM）
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高解析度FEB测量装置CG6300（HITACHI CD-SEM）
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高分辨率FEB测长仪器 CG5000 (HITACHI CD-SEM)
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半导体蚀刻系统9000系列
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过程控制系统是设备控制的大脑，该系统在不允许有一刻停工的上下水道、电力设备现场、以及因为质量、安全、环境的要求或者是开拓国外市场等因素而瞬息万变的制造现场大显身手。我们不仅提供保证设备稳定工作的技术服务，更从系统设计支持、施工、远程诊断等各个侧面提供支持。
［主要的服务对象产品］
各类工业流程仪表及各类设备的测量、控制、制造管理系统、各类水质分析仪、遥测设备、计算机应用系统、二恶英前驱体监测器、PCB监测器、药物检测设备等。
