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离子研磨仪 IM4000II
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超高分辨肖特基场发射扫描电子显微镜SU8700
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多功能扫描探针显微镜AFM100 Plus /AFM100 系统
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超高分辨场发射扫描电子显微镜 SU8600系列
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光化学反应量热仪选配项 紫外线照射装置 PDC-7/PDC-7X 液体流量计
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纳米尺度3D光学干涉测量系统 VS1800
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超高分辨肖特基场发射扫描电镜 SU7000
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基于设计数据的计量系统
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高解析度FEB测量装置CS4800（CD-SEM）
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高解析度FEB测量装置CG6300（HITACHI CD-SEM）
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高分辨率FEB测长仪器 CG5000 (HITACHI CD-SEM)
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半导体蚀刻系统9000系列
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日立的压力变送器，由于采用了E型传感器以及*的受压部结构设计，确保了在大气开放状态下或过压时的耐用性。由于可靠性和*稳定性的实现，在各种制程的应用上获得好评。
| 型号 | 产品名称 |
|---|---|
| 压力变送器 |
| 远传式压力变送器 |
| 法兰式压力变送器 |
智能差压・压力变送器N7系列
高温高真空规格差压・压力变送器
温差补偿式差压变送器 EDR-N7C