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离子研磨仪 IM4000II
面议超高分辨肖特基场发射扫描电子显微镜SU8700
面议多功能扫描探针显微镜AFM100 Plus /AFM100 系统
面议超高分辨场发射扫描电子显微镜 SU8600系列
面议光化学反应量热仪选配项 紫外线照射装置 PDC-7/PDC-7X 液体流量计
面议纳米尺度3D光学干涉测量系统 VS1800
面议超高分辨肖特基场发射扫描电镜 SU7000
面议基于设计数据的计量系统
面议高解析度FEB测量装置CS4800(CD-SEM)
面议高解析度FEB测量装置CG6300(HITACHI CD-SEM)
面议高分辨率FEB测长仪器 CG5000 (HITACHI CD-SEM)
面议半导体蚀刻系统9000系列
面议日立小型仪表系统“PD-N01”在可编程控制器(PLC)中安装有分布式控制系统(DCS)的运算模块,可以对温度、流量、压力控制等实现精密而复杂的模拟控制,是一种全新概念的仪表系统。
这一全新概念的仪表系统充分利用DCS原有的强大模拟控制功能、丰富的监视控制软件组、软件资源的可再利用性等优势,并兼有硬件的易获取性,成功实现了小型化。
系统采用通用PC和PLC,可控制原始成本。另外,由客户自己更换、维修备件,可控制维修成本。
通过PLC上安装的DCS运算模块,可进行复杂的回路控制和序列控制。实现以往的PLC控制系统难以完成的高度连续控制和批控制。
标准配备有图形、趋势、报表等运转所需要的监视操作软件套装。组态软件装载有日立EX系列中的控制系统用语言SLC,客户可轻易地自行组态。
控制器外观
项目 | 规格 | ||
---|---|---|---|
站数 | 操作员控制台 | 4台*1 | |
控制器 | 16台 | ||
操作员控制台 | 客户端操作计算机 | 4台/终端服务器 | |
打印机 | 4台*2 | ||
监视、操作规模 | 计量仪表显示标签数 | 连续控制 | 2,048 |
序列 | 512 | ||
阀/马达 | 4,096 | ||
趋势显示数 | 实时 | 6,144 | |
批 | 2,048 | ||
图形画面数 | 512 | ||
品种管理 | 品种数 | 200 | |
数据数/品种 | 500 | ||
种类数 | 4 | ||
报表 | 制程数 (定时报告/批报告) | 4/4 | |
报告数 | 128 | ||
数据收集数 | 256/制程 | ||
操作指引数 | 8,192 | ||
用户警报数 | 8,192 |
项目 | 规格 | |
---|---|---|
型号 | ESLB | |
1台控制器的控制规模*3 | 模拟输入 | 128 |
模拟输出 | 128 | |
数字输入 | 1,000 | |
数字输出 | 1,000 | |
监视/控制回路 | 128 | |
序列图 | 80 | |
定时器计数器 | 512 | |
阀、马达 | 256 |