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离子研磨仪 IM4000II
面议超高分辨肖特基场发射扫描电子显微镜SU8700
面议多功能扫描探针显微镜AFM100 Plus /AFM100 系统
面议超高分辨场发射扫描电子显微镜 SU8600系列
面议光化学反应量热仪选配项 紫外线照射装置 PDC-7/PDC-7X 液体流量计
面议纳米尺度3D光学干涉测量系统 VS1800
面议超高分辨肖特基场发射扫描电镜 SU7000
面议基于设计数据的计量系统
面议高解析度FEB测量装置CS4800(CD-SEM)
面议高解析度FEB测量装置CG6300(HITACHI CD-SEM)
面议高分辨率FEB测长仪器 CG5000 (HITACHI CD-SEM)
面议半导体蚀刻系统9000系列
面议CyberPlant-ChemiFact是一款针对化学工厂的生产管理系统,放置于化学工厂的防爆区域,提高作业的效率・稳定・安全・质量。
生产预约功能可依据各个工序做成的作业指示,纪录各工序的实际作业情况。原料所需量的计算可以自动地展开,所以作业指示可根据生产量进行灵活调整。通过对各工序的生产情况进行管理,实现了可追溯性。
针对防爆区域,从机器选定到系统构建一揽子执行,实现防爆区域生产的效率化,提高质量。