过程数据收集・管理系统 CyberBridge

显示趋势

显示积累的工艺数据的趋势

• 趋势扩大、数据、倍率、显示光标位置数据等高级功能
• 显示趋势相关的警报数据
• 画面图像和趋势数据可简单地粘贴至Microsoft® Excel

显示批次趋势

适合批次工艺数据的趋势显示、分析、解析

• 以批次为单位收集工艺数据、显示趋势
• 边调整历史多批趋势边叠加显示
• 同时显示目标值和平均值趋势

显示解析警报

多级显示、解析警报数据

• 统一显示制程、操作向导、确认设定的警报信息
• 通过时间序列、平衡、统计等多种图表多级显示、解析警报
• 将警报数据粘贴至Microsoft® Excel®

制作报表

简单快速地制作报表，输出日报和批次报告

• 使用Microsoft® Excel可简单快速制作报作
• 通过截止日期和事件自动打印、输出文件
• 可输入注释和维护数据
• 将票单数据粘贴至Microsoft® Excel表格

连接Microsoft® Excel

直接将工艺数据输出至Microsoft® Excel表格

• 从Microsoft® Excel菜单直接连接
• 可简单地将数据粘贴至Microsoft® Excel表格
• 日期范围、snap等丰富的搜索功能

显示简易图解

通过图解显示直观地监视工艺数据

*

图像文件是Bitmap格式（*.bmp）

• 在与仪表室分离的事务所，远距离监视制程状态
• 使用通用软件从创建的图像文件构筑监视画面
• 将画面图像粘贴至Microsoft® Excel