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离子研磨仪 IM4000II
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超高分辨肖特基场发射扫描电子显微镜SU8700
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多功能扫描探针显微镜AFM100 Plus /AFM100 系统
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超高分辨场发射扫描电子显微镜 SU8600系列
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光化学反应量热仪选配项 紫外线照射装置 PDC-7/PDC-7X 液体流量计
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纳米尺度3D光学干涉测量系统 VS1800
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超高分辨肖特基场发射扫描电镜 SU7000
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基于设计数据的计量系统
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高解析度FEB测量装置CS4800（CD-SEM）
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高解析度FEB测量装置CG6300（HITACHI CD-SEM）
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高分辨率FEB测长仪器 CG5000 (HITACHI CD-SEM)
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半导体蚀刻系统9000系列
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针对难以自动化的生产工艺，实现作业标准化。
传承熟练工人的技术诀窍。
发生异常等非常规作业，也可实现无漏操作、无误操作。
运转辅助系统HiCompassage，可减轻操作员的操作及作业强度，帮助提高运行效率及安全性。
日立分散式控制系统 EX-N01
过程数据收集・管理系统 CyberBridge
面向化学工厂的生产管理系统 CyberPlant-ChemiFact
作业管理系统