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离子研磨仪 IM4000II
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超高分辨肖特基场发射扫描电子显微镜SU8700
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多功能扫描探针显微镜AFM100 Plus /AFM100 系统
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超高分辨场发射扫描电子显微镜 SU8600系列
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光化学反应量热仪选配项 紫外线照射装置 PDC-7/PDC-7X 液体流量计
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纳米尺度3D光学干涉测量系统 VS1800
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超高分辨肖特基场发射扫描电镜 SU7000
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基于设计数据的计量系统
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高解析度FEB测量装置CS4800（CD-SEM）
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高解析度FEB测量装置CG6300（HITACHI CD-SEM）
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高分辨率FEB测长仪器 CG5000 (HITACHI CD-SEM)
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半导体蚀刻系统9000系列
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该导航系统可以将CAD数据的布线和大规模集成电路的设计图形和FIB的观察图像相对应起来。当CAD系统中的坐标位置，样品台就会通过链接移动到相应位置，就可以获得相应位置的SIM图像。同时，CAD数据和SIM图像也可以重叠显示。因此，很容易检查到下层布线的状态，实质上提高了分析的效率，有利于进一步进行修理工作。
