VFS大口径立式炉

CCBS-Vspec真空干燥装置

CCBS-IR单片IR式净化烧成炉

CBS分批式净化系统

VB多片一体式连续净化炉

RH滚筒式连续炉

VF-5900对应300mm Wafer的小型立式炉

VF-5700对应300mm Wafer的小型立式炉

VF-5100通用量产型立式炉

VF-5300对应8inch Wafe的立式炉

VF-3000对应300mm Wafe的立式炉

VF-1000R&D, 少量生产用立式炉