通用量产型立式炉

VF-5100通用量产型立式炉

参考价: 面议

具体成交价以合同协议为准
2021-10-01 10:25:46
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安捷来国际股份（香港）有限公司

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产品简介

通用量产型立式炉

详细介绍


通用量产型立式炉:

  • Flexible equipment configuration available for various production line
  • 50 to 150 wafers batch size can be selected
  • 4 to 8 inch wafer size is available
  • 4 to 8 cassette stocks
  • Excellent temperature control from low to medium high temperature range by use of LGO heater
  • High-speed wafer transfer by use of single/five wafers handling robot
  • Equipped with operator friendly high performance control system
Outer dimension W1250×D3200×H3400mm
HeaterLGO heater(ID ø500mm)
Flat zone length1040mm
Wafer size300mm
Batch size100wafers
I/O port2
Number of FOUP stock16(standard)
Finger5wafers+single wafer
ControllerModel VSC1000
OptionForced-cooling system, N2 load lock,
HOST communication(GEM300)
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