对应300mm Wafer的小型立式炉

VF-5900对应300mm Wafer的小型立式炉

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具体成交价以合同协议为准
2021-10-01 10:29:03
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安捷来国际股份（香港）有限公司

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产品简介

对应300mmWafer的小型立式炉:Largebatch

详细介绍

对应300mm Wafer的小型立式炉:

  • Large batch, Max 100 wafers batch processing
  • Max 16 FOUP stocks
  • Excellent temperature control from low to medium high temperature range by use of LGO heater
  • High-speed wafer transfer by use of single/five wafers handling robot
  • Equipped with operator friendly high performance control system
Outer dimension W1250×D3200×H3400mm
HeaterLGO heater(ID ø500mm)
Flat zone length1040mm
Wafer size300mm
Batch size100wafers
I/O port2
Number of FOUP stock16(standard)
Finger5wafers+single wafer
ControllerModel VSC1000
OptionForced-cooling system, N2 load lock,
HOST communication(GEM300)
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