VF-5900对应300mm Wafer的小型立式炉

VF-5700对应300mm Wafer的小型立式炉

VF-5100通用量产型立式炉

VF-5300对应8inch Wafe的立式炉

VF-3000对应300mm Wafe的立式炉

VF-1000R&D, 少量生产用立式炉

Model 2000批量生产/实验室用卧式炉

RLA-3300感应加热式高速升降温炉

RLA-3100感应加热式高速升降温炉

RLA-1200感应加热式高速升降温炉

Model 206AModel 206A

VFS-4000大口径立式炉