感应加热式高速升降温炉

RLA-3300感应加热式高速升降温炉

参考价: 面议

具体成交价以合同协议为准
2021-10-01 10:16:47
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安捷来国际股份（香港）有限公司

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产品简介

感应加热式高速升降温炉

详细介绍


感应加热式高速升降温炉：

  • Low cost performance by limited function
  • Upper cross lamp structure and zone segmentation improved the uniformity of in-plane temperature
  • Wafer relation system to improve the uniformity of in-place temperature
  • Multi axis clean robot enables high speed and accurate wafer transfer
  • Equipped with operator friendly high performance control system
Outer dimension W1500×D2300×H2080mm
Operation temperature400 to 500℃
Heat up rateMax.250℃/sec
Lamp layoutUpper cross lamp arrays
Number of control zone22
Wafer size300mm
I/O port2
Wafer transfersingle wafer / multi-axis clean robot
ControllerModel RSC1000
OptionHOST communication(GEM300)
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