大口径立式炉

VFS-4000大口径立式炉

参考价: 面议

具体成交价以合同协议为准
2021-10-01 10:11:12
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安捷来国际股份（香港）有限公司

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产品简介

大口径立式炉：Availableforvacuum/atmosphericpressureprocessAvailableforvariousgasesSubstratesize:730930mm(Typical)(Tobediscussedforothersize

详细介绍

大口径立式炉：

  • Available for vacuum/atmospheric pressure process
  • Available for various gases
  • Substrate size: 730×930 mm (Typical)
    (To be discussed for other size.)
  • Excellent temp performance of large LGO heater
Outer dimension W2000×D2000×H4200mm (furnace body)
HeaterLGO heater
Operation temperatureRT~700℃
substrate size730×920 (G4)
Batch size20~25
Flat zone temperatureto ±3℃
Chamber materialhigh-grade quarts
ControllerModel VSC1000
OptionForced-cooling system, HOST communication(SECS/GEM)
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