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日立 超高分辨场发射扫描电子显微镜Regulus系列
面议日立 超高分辨率场发射扫描电子显微镜 SU9000
面议日立 热场式场发射扫描电镜 SU5000
面议日立 超高分辨肖特基场发射扫描电镜 SU7000
面议日立 钨灯丝扫描电子显微镜 FlexSEM 1000 II
面议日立 高性能聚焦离子束系统 MI4050
面议日立 环境型原子力显微镜 AFM5300E
面议日立 全自动型原子力显微镜 AFM5500M
面议日立 钨灯丝扫描电子显微镜 SU3800/SU3900
面议日立 通用型原子力显微镜 AFM5100N
面议日立 原子力显微镜工作站AFM5000II/RealTune® II
面议日立 台式扫描电镜 TM4000II/TM4000PlusII
面议有限元优化的大型桥式机结构设计,保证了大行程测量机足够的强度和长期使用时稳定的精度。
自动温度补偿功能,机器主机上布置高灵敏的温度传感器,保证了在温度变化时,仍保持测量机的高精度。
主要特征:
• 有限元优化的大型桥式机结构设计,保证了大行程测量机足够的强度和长期使用时稳定的精度。
• 采用的全铝技术,更佳的刚性/质量比,保证机器的高性能和高精度。
• X向横梁采用高精密三角梁(Tricision®)技术,相比矩形横梁,重心更低,质量刚性比更佳,运动更加可靠。
• Y轴采用海克斯康集团的燕尾型导轨,提高了测量机的精度和重复性。
• 三轴均采用高精度德国HEIDENHAIN光栅尺,系统分辨率可达0.078μm,同时采用一端固定,一端自由伸缩的方式安装,减少了光栅尺的变形,保证在温度变化时的线性伸缩。
• Z向采取气动平衡技术,采用柔性悬挂系统,避免了轴向运动和传动系统之间的干涉问题,提高了测量机的精度和长期稳定性。
• 各运动轴均采用直流伺服驱动+增强型同步带,确保大行程测量机运动的平稳性和定位的准确性。
• 采用海克斯康为Croma专业打造的IDC-I控制系统,21项误差空间修正技术和自动调谐功能,保证了机器的动态性能和测量精度。
•自动温度补偿功能,机器主机上布置高灵敏的温度传感器,保证了在温度变化时,仍保持测量机的高精度。