日立  热场式场发射扫描电镜 SU5000

日立 热场式场发射扫描电镜 SU5000

参考价: 面议

具体成交价以合同协议为准
2024-06-28 08:00:44
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诺赛德自动化设备(苏州)有限公司

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产品简介

产品介绍 创新的“EM Wizard”界面更加直观,仅需要“点击”即可得到的图像。 超前的电脑辅助技术将电镜的操作与控制提升到一个新水平。

详细介绍


产品介绍:


创新的“EM Wizard”界面更加直观,仅需要“点击”即可得到的图像。
超前的电脑辅助技术将电镜的操作与控制提升到一个新水平。


产品特点:


高性能电子光学系统



性能优异:


产品规格:


项目内容
分辨率1.2nm @ 30 kV
3.0nm @ 1 kV
2.0nm @ 1 kV 减速模式*1
3.0nm @ 15 kV 低真空模式*2
放大倍率10 -600,000×(底片倍率),18-1,000,000×(800×600 像素)
30-1,500,000×(1,280×960像素)
电子光学系统电子枪ZrO/W 肖特基式电子枪
加速电压0.5-30kV(0.1kV步进)
着陆电压减速模式:0.1-2.0kV*1
束流>200 nA
探测器低位二次电子探测器
低真空模式*2真空范围:10-300Pa
马达台
马达台控制5-轴自动(优中心)
可动范围
X:0~100mm
Y:0 ~ 50mm
Z:3 ~ 65mm
T:-20 ~ 90°
R:360°
样品尺寸直径:200mm
高度:80mm
选配探测器
  • 高分辨率顶位二次电子探测器*1

  • 高灵敏度低真空探测器 (UVD)

  • 5分割半导体探测器 (PD-BSD)*3

  • 能谱仪 (EDS)

  • 波谱仪 (WDS)

  • 背散射电子衍射探测器 (EBSD)


*1:减速功能(包含高分辨率顶位二次电子探测器)
*2:低真空功能(包含5分割半导体探测器)

*3:空压机(本地采购)


应用实例:



样品: 氧化锌粉末
着陆电压: 1 kV ; 倍率: 120,000x
低电压下顶位二次电子探测器成像



样品: PTFE
加速电压: 3 kV ; 倍率: 13,000x
UVD探测器可在低加速电压(3 kV)和低真空
(40 Pa) 下获得高质量图像


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