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Croma系列超大行程全自动三坐标测量仪
面议日立 超高分辨场发射扫描电子显微镜Regulus系列
面议日立 超高分辨率场发射扫描电子显微镜 SU9000
面议日立 热场式场发射扫描电镜 SU5000
面议日立 超高分辨肖特基场发射扫描电镜 SU7000
面议日立 钨灯丝扫描电子显微镜 FlexSEM 1000 II
面议日立 高性能聚焦离子束系统 MI4050
面议日立 环境型原子力显微镜 AFM5300E
面议日立 全自动型原子力显微镜 AFM5500M
面议日立 通用型原子力显微镜 AFM5100N
面议日立 原子力显微镜工作站AFM5000II/RealTune® II
面议日立 台式扫描电镜 TM4000II/TM4000PlusII
面议产品介绍:
集优异性能、操作简便性、多样化功能于一身
日立高新推出的扫描电镜SU3800/SU3900兼具操作性和扩展性,结合众多的自动化功能,可高效发挥其高性能。SU3900标配多功能超大样品仓,可应对大型样品的观察。
产品特点:
①SU3900标配多功能超大样品仓,可应对大型样品的观察
■样品台可搭载超大/超重样品
通过更换样品提示,可防止由于与样品的接触而损坏设备或样品
选配样品交换仓,可在主样品仓保持真空的状态下快速更换样品,大大提高了工作效率
具备样品台移动限制解除功能,提高了自由度*
红外CCD探测器,提高了样品台移动的安全性
■支持全视野移动。SEM MAP支持超大样品的全视野观察
与GUI联合,可配备样品仓室导航相机
覆盖整个可观察区域
支持360度旋转
②随着各种自动化功能的强化,操作性能得到了进一步优化。
■一个鼠标就能够轻松操作的简约GUI
■各种自动化功能
自动调整算法经改良后,等待时间减少至以往的1/3以下(※S-3700N比例)
提高了自动聚焦精度
搭载Intelligent Filament Technology(IFT)
■Multi Zigzag,可实现多区域的大视野观察
■Report Creator,可利用获得的数据批量生成数据报告
③可提供满足测试需求的应用解决方案
■可满足多种观察需求的探测器
搭载高灵敏度UVD*,支持CL观察
高灵敏度半导体式背散射电子探测器,切换成分/凹凸等多种图像
■配备了多功能超大样品仓,可以搭载多种配件
>■SEM/EDS一体化功能*
■三维显示测量软件 Hitachi Map 3D*
■支持图像测量软件Image pro
*配件
矿物的观察分析案例
显示了锆石晶体在相同视野下的观察结果。在BSE图像中很难看清铬浓度的缓和偏差。但是,在CL图像中可以确认到暗 色区域是对应于错浓度较高的区域。
应用图例
金属材料
陶瓷材料
电子零件
生物/医药品
产品规格
ITEM | SU3800 | SU3900 | |
二级电子分解能 | 3.0nm(加速电压30kV、WD=5mm、高真空模式) | ||
15.0nm(加速电压1kV、WD=5mm、高真空模式) | |||
背散射电子分解能 | 4.0nm(加速电压30kV、WD=5mm、低真空模式) | ||
倍率 | ×5~×300,000(照片倍率*1) | ||
×7~×800,000(实际显示倍率*2) | |||
加速电压 | 0.3kV~30kV | ||
低真空度设定 | 6~650Pa | ||
图像位移 | ±50µm(WD=10mm) | ||
样品尺寸 | 200mm直径 | 300mm直径 | |
样品台 | X | 0~100mm | 0~150mm |
Y | 0~50mm | 0~150mm | |
Z | 5~65mm | 5~85mm | |
R | 360°连续 | ||
T | -20°~+90° | ||
可观察范围 | 130mm直径(R并用) | 200mm直径(R并用) | |
可观察高度 | 80mm(WD=10mm) | 130mm(WD=10mm) | |
电机驱动 | 5轴电机驱动 | ||
电子光学系统 | 电子枪 | 中心操控式钨丝发射 | |
物像镜头光圈 | 4孔可动光圈 | ||
检测系统 | 二级电子检测器、高灵敏半导体背散射电子检测器 | ||
EDX分析WD | WD=10mm(T.O.A=35°) | ||
图像显示 | 自动光轴调整功能 | 自动光束调整(AFS→ABA→AFC→ABCC) | |
自动光轴调整(实时级别对齐) | |||
自动调整光束亮度 | |||
自动图像调整功能 | 自动亮度和对比度控制(ABCC) | ||
自动对焦控制(AFC) | |||
自动标记和焦点功能(ASF) | |||
自动灯丝饱和度调整(AFS) | |||
自动光束对准(ABA) | |||
自动启动(HV-ON→ABCC→AFC) | |||
操作辅助功能 | 光机旋转、动态聚焦、图像质量改善功能、数据输入(点对点测量、角度测量、文本)、预设放大、样品台位置导航功能(SEM MAP)、光束标记功能 | ||
配件 | ■硬件:轨迹球、操纵杆、操作面板、压缩机、高灵敏度操作低空探测器(UVD)、红外CCD探测器、摄像机导航系统■软件:SEM数据管理器外部通讯接口、3D捕获、装置台移动限制解除功能、EDS集成 | ||
配件(外部装置) | 能量散射X射线分析仪(EDS)、波长色散X射线分析仪(WDS)、各种外部功能台(加热台、冷却台、牵引台) |
* 1.指正放大倍率为127 mm x 95 mm(4x5照片尺寸)的显示尺寸。
* 2.放大倍率为509.8 mm x 286.7 mm(1,920 x 1,080像素)的显示尺寸。