日立  超高分辨场发射扫描电子显微镜Regulus系列

日立 超高分辨场发射扫描电子显微镜Regulus系列

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具体成交价以合同协议为准
2024-06-28 08:03:57
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诺赛德自动化设备(苏州)有限公司

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产品简介

产品介绍 现有机型SU8240,SU8230,SU8220及SU8010重新整合,衍生而成Regulus8240、Regulus8230、Regulus8220、Regulus8100。

详细介绍


产品介绍:


       现有机型SU8240,SU8230,SU8220及SU8010重新整合,衍生而成Regulus8240、Regulus8230、Regulus8220、Regulus8100。


       "Regulus系列"继承了现有机型的观察和分析性能,配备SU8200系列的低噪音冷场发射电子枪*1,可以获得高稳定的束流。


       通过优化电子光学系统,Regulus8240/8230/8220在1 kV条件下分辨率提高到0.7 nm,Regulus8100的分辨率提高到0.8 nm。


       此外,为充分发挥超高分辨的能力,放大倍率也从过去的100万倍提升到200万倍*1。


       Regulus8240/8230/8220/8100还完善了用户支持功能,通过此功能用户更容易理解各种复杂信号的检测原理,帮助用户充分发挥仪器的性能。


*1   Regulus8240/8230/8220


产品特点:



*2   Regulus8240/8230/8220


产品规格:


项目Regulus 8100Regulus 8220Regulus 8230Regulus 8240
二次电子分辨率0.7 nm
(加速电压15 kV)
0.6 nm(加速电压 15 kV)
0.7 nm(着陆电压 1 kV)*3
0.8 nm
(着陆电压1 kV)*3
着陆电压0.1~2 kV0.01~20 kV
放大倍率20~1,000,000倍*420~2,000,000倍*4

样品台控制3轴马达台(可选5轴马达台)5轴马达驱动

X0~50 mm0~50 mm0~110 mm0~110 mm
Y0~50 mm0~50 mm0~110 mm0~80 mm
R360°
T-5~70°
Z1.5~30 mm1.5~40 mm
再现性---±0.5 µm以下含
±0.5 µm


*3      减速模式下观察


*4      以127 mm × 95 mm底片为基准的倍率


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