Photomask Blanks缺陷检查装置 LODAS™ – AI50/100

Photomask Blanks缺陷检查装置 LODAS™ – AI50/100

参考价: 面议

具体成交价以合同协议为准
2024-06-20 07:45:03
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岱美仪器技术服务(上海)有限公司

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产品简介

列真株式会社自创业以来,秉承“挑战、“创造、“诚实的经营理念,为顾客提供可靠、可信的产品和服务

详细介绍

列真株式会社自创业以来,秉承“挑战"、“创造"、“诚实"的经营理念,为顾客提供可靠、可信的产品和服务。运用激光扫描技术,专门制造、销售半导体材料表面及内部检查、石英玻璃表面检查等检查装置。


特征:

  • 半导体用Photomask Blanks的出厂检查、工艺评价

  • 用微分干涉显微镜分析缺陷

  • 检查对象:Photomask Substrate、Cr、Resist、MoSi

  • 检查项目:颗粒、内部缺陷(Option)

  • 检查灵敏度:PDM缺陷尺寸0.1μm(AI00)

列真公司检查装置的维护、修理

  • 定期支持装置安装完成后的性能维持。

  • 24小时电话对应,全年无休的安心支持。

  • 认真对待客户新的要求。

  • 召开技术研讨会和充实各种手册,让顾客能够自行维护和更换零件。

  • 提供HDD、激光光源等消耗品的免费诊断服务。

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