晶圆缺陷自动光学检测（AOI）系统_nSpec PS-岱美仪器技术服务（上海）有限公司手机版

详细介绍

1. AOI 产品简介
无论用户对样品检测检验有什么具体要求，我们都能提供广范的解决方案来协助获得快速的结果。
nSpec PS 晶圆缺陷自动光学检测（AOI）系统是用于晶圆缺陷检测的研发和生产的理想系统。nSpec PS按顺序运行多个扫描程序，友好的用户界面软件使配置配方变得毫不费力，而且，随着需求的发展，程序配方也易于保存和修改。
2. 全自动光学检测（AOI）功能
·适用于基板，外延和图案化晶圆
·可用于透明和不透明晶圆
·薄膜胶带，托盘，凝胶包装或华夫包装上的切成薄片的片
·用于光罩
·可处理样品碎片
产品特点
·自动化的晶圆装载机
·可设置多种分辨率
·快速扫描功能
·可定制的缺陷报告
·可设置单个图像捕获和扫描
·拥有各种样品夹头，可满足特定需求
·对缺陷或感兴趣特征进行检测和分类的鲁棒分析
3. 系统规格
重量：317 kg
尺寸（宽x深x高）：176cm * 175cm * 203cm
蕞小真空要求：24英寸汞柱（70 kPa）
电源：110v / 220v，3.5A
4. AOI 光学性能
照明模式：明场，暗场，DIC（Nomarski）
光源：白光LED（可用其他选项）

物镜：2.5、5、10、20或50x，用户可选

晶圆缺陷检测光学系统光学镜头.jpg

5. AOI 工作台
行程：典型的X和Y方向各200 mm
定位：使用闭环编码器定位线性伺服电机（分辨率50 nm）
重复性：+/- 0.5 µm
行驶平面度：30 µm
结构：施工精密地面滚道和交叉滚子轴承
限位开关：光学，不可调节
固定平台：显微镜，重型基座中心
负载能力：2.27 kg
重量：11.33 kg
尺寸（宽x深x高）：35cm * 37cm * 4cm
6. 晶圆装载机
一次运行1个盒带：25个晶片/盒带，标准H型卡匣
标准晶圆尺寸：50、75、100、150或200mm
尺寸（宽x深x高）：71 cm * 75 cm * 35cm
重量：54 kg
7. 备选项
AFM规格：可根据要求提供
SECS / GEM
OCR（透射光）