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面议| Z分解能/测定范围 | 0.0075um/5mm 0.012um/8mm |
|---|---|
| 触针/测定力/针尖角度 | R2um/0.75mN/60° R25um/10mN/25° |
| 解析项目 | 形状解析（要素、方位向量、统计量、公差判定） 表面粗度(JIS、ISO、DIN、ANSI、BS) 表面波纹(JIS) |
| 测定范围 | X:100mm |
| 直线度精度 | 0.4um/100mm |
