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面议机构·方式 | 多孔质静压空气轴承 · 工作台回转式 |
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半径方向 回转精度 | (0.04+0.0005H)um (EC1850H) (0.02+0.0003H)um (EC3300H) H:工作台面上算起的高度(mm) |
测定径 | 内外径都是Φ450mm |
积载质量 | 30kg |
上下移动量 | 400mm (使用b触针臂时) |
利用长探针杆臂以及新开发“one touch”式检出器holder可自由进入深穴、平面、倾斜面……等测定点。另有防止探针落差过大之保护机构。
检出器半径方向或上下方向,利用伺服控制,可自动找出测定位置,几乎无需手动微调整,操作性大幅上扬。
此方式,可从直线图形上,任何位置直接之,使操作上更加方便,无需细微调整。
Kosaka的多孔质静压空气轴承系统工作台,由于特殊设计,有以下特点:
1、具高刚性高负荷能力,故对偏负荷以及外部震动有强力之抑制能力。
2、压力分布性均匀、安定性的情况下,可得到高回转精度。
3,空气消耗量非常之少(为传统的1/3),稳定度高并可达经济之效果。
有以上三特点,即是为了达到高精度,安定性之测量结果的坚强保证。
可连续测定128断面,而进行自动测定。