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面议| 机构·方式 | 多孔质静压空气轴承·工作台回转式 |
|---|---|
| 回转精度 | 0.05um (JISB 7451) |
| 测定径 | 内外径都是Φ550mm(※EC5100H的机种） |
| 积载质量 | 200kg (※EC5100H的机种） |
| 上下移动量 | 1000mm(使用b触针臂时）（※EC5100H的机种） |
| 工作台移动范围 | X:800mm(左500mm, 右300mm) Y:士60mm |
